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Derechos | Vista previa | Fecha de publicación | Título | Autor(es) |
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10-sep-2010 | Resonance frequency dependence on out-of-plane forces for square silicon membranes: Applications to a MEMS gradiometer | Lucas, I.; Del Real, R. P.; Díaz Michelena, M.; De Manuel, V.; Duch, M.; Esteve, J.; Plaza, J. A. |
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- 1 Silicon