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Autor(es)
16-feb-2009
Focused-Ion-Beam-Assisted Magnet Fabrication and Manipulation for Magnetic Field Detection Applications
Campanella, H.
;
Del Real, R. P.
;
Díaz Michelena, M.
;
Duch, M.
;
Guerrero, H.
;
Esteve, J.
;
Plaza, J. A.
5-abr-2010
In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system
Campanella, H.
;
Del Real, R. P.
;
Duch, M.
;
Serre, C.
;
Lucas, I.
;
De Manuel, V.
;
Guerrero, H.
;
Esteve, J.
;
Díaz Michelena, M.
;
Plaza, J. A.
21-may-2010
Comparative performance of static-mode ferrous MEMS gradiometers fabricated by a three-step DRIE process
Campanella, H.
;
Del Real, R. P.
;
Duch, M.
;
Guerrero, H.
;
Esteve, J.
;
Díaz Michelena, M.
;
Plaza, J. A.
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Autor
3
Del Real, R. P.
3
Díaz Michelena, M.
1
De Manuel, V.
1
Lucas, I.
1
Serre, C.
Palabras Clave
1
Acoustic wave resonator
1
Focused ion beam
1
Gradiometers
1
Hard magnet nanofabrication
1
Magnetic devices
1
Magnetic transducers
1
MEMS Sensors
1
Thin-film bulk