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12-sep-2010
Resonance frequency dependence on out-of-plane forces for square silicon membranes: Applications to a MEMS gradiometer
Lucas, I.
;
Del Real, R. P.
;
Díaz Michelena, M.
;
De Manuel, V.
;
Duch, M.
;
Esteve, J.
;
Plaza, J. A.
13-ago-2009
A New Single-Sensor Magnetic Field Gradiometer
Lucas, I.
;
Díaz Michelena, M.
;
De Manuel, V.
;
Plaza, J. A.
;
Duch, M.
;
Esteve, J.
;
Guerrero, H.
10-sep-2010
Resonance frequency dependence on out-of-plane forces for square silicon membranes: Applications to a MEMS gradiometer
Lucas, I.
;
Del Real, R. P.
;
Díaz Michelena, M.
;
De Manuel, V.
;
Duch, M.
;
Esteve, J.
;
Plaza, J. A.
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Autor
3
Duch, M.
3
Lucas, I.
3
Plaza, J. A.
2
Del Real, R. P.
1
Guerrero, H.
Palabras Clave
2
Resonance frequency
1
Finite Element Method
1
Finite element method
1
Gradiometer
1
Magnetic field
1
Magnetic Field Gradiometer
1
Magnetic field gradiometer
1
Mems
1
Optical detection
1
Resonance Frequency
.
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